美国Aalborg气体质量流量计
美国Aalborg Instruments Controls, Inc成立于1972年，是世界上著名的气体质量流量计/控制器的生产厂家，其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、材料科学、石油化工、医药、环保等领域。
产品特点：性价比高、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总量计数器
典型应用：CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。
设计特点：
－刚性金属结构
－流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm
－最大压力500psig（34.5Bar）
－泄漏率1＊10-7氦气
－NIST系统标定可追踪的证明
－可倾斜的LCD读表
－0-5Vdc或4-20mA信号输出
－电路保护
－可用作便携式的设备
－0到100％比例显示
－可配备流量计算机
蔡忠波
