设备参数特性:
1. 外形尺寸1000*800*1700mm(长*宽*高)
2. 氦质谱检仪集成在设备内部,占地面积小,外观整洁
3. 氦检方式:采用皖仪氦检仪+氦检机
4. 检测流程:充空气保压、排空、抽真空、喷氦、检漏、判别、排氦
5. 设备运行方式:双工位分割器
6. 检测产能:单次检测4片,一个检测循环35秒左右
7. 气路控制:采用精密调压阀及科学气路设计,充空气及喷氦通过压力表及程序实时监控
8. 顶盖密封性:采用特有密封胶设计,本体漏率可达10-9
9. 兼容性:通过更换上下治具,可实现多型号共用