GB50472-2008《电子工业洁净厂房设计规范》
GB51209-2016《发光二极管工厂设计规范》
洁净室的空气洁净度等级以及洁净室型式应根据生产工艺对生产环境的要求确定。
洁净室的气流组织应根据洁净度等级、生产工艺要求以及技术经济比较确定。
洁净室的排风系统应设置防止室外气流倒灌的措施。
净化空气调节系统的新风应集中进行热、湿、净化处理,新风处理机组的设置应符合下列要求: 送风机应采取变频措施; 空气宜经过粗效、中效、高效过滤器三级处理; 新风的吸入口位置,应远离排放有害物或可燃物的排气口; 应有良好的气密性,在工作压力下的漏风率不得大于 1%。
光刻间宜采用新风处理机组+风机过滤器机组+干冷却盘管的净化空调系统;其他洁净室宜采用新风处理机组+循环空气处理机组+高效过滤器送风口的净化空调系统。
循环空气处理机组宜采用干冷却方式处理空气。
循环空气处理机组的风机应采取变频调速措施。
空调加热、加湿系统的设计应利于工厂余热的利用。
发光二极管工厂一般由生产厂房、动力厂房、化学品库、气站、办公楼等建筑组成。
洁净室净高应按照生产设备和物料运输设备尺寸、微环境装置及洁净气流控制等因素确定,一般不宜低于 3m。
上技术夹层净高应按照空调设备、管线布置、洁净气流控制等因素确定,一般不宜低于 2m。
●食品工业洁净用房净化空调系统;
●GMP医药工业洁净厂房净化空调系统;
●微电子、光电无尘车间净化空调系统;
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